电子探针
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主要对试样微区的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描（得到成分分布信息）、面扫描（得到成分面分布图像）；测试元素Be~U。相对EDS，检测限更低，有标测试，对于轻元素、微量元素测试精度更高；
块体样品：长宽或直径不超过30mm，厚度不超过15mm；样品需上下表面平行，测试面务必抛光；不导电样品需要喷金或喷碳；最好标记好分析面上的测试点，未标记测试位置，测试时只选有代表性、较平整位置测试。
